臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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國立臺灣大學	1996	高精密機械定位平台─半導體設備平台研究--子計畫一：長距離精準定位與控制	李世光
國立臺灣大學	1996	高精密機械定位平台─半導體設備平台研究--子計畫二：系統機構及六自由度位置誤差量測	范光照
國立臺灣大學	1996	高精密機械定位平台─半導體設備平台研究--總計畫	范光照
臺大學術典藏	1998	高精密機械定位平台─子計畫一：長距離精準定位及控制(III)	李世光; 李世光
國立臺灣大學	1998	高精密機械定位平台─子計畫一：長距離精準定位及控制(III)	李世光
國立臺灣大學	1998	高精密機械定位平台─子計畫三：回饋控制空氣軸承(III)	王安邦
國立臺灣大學	1998	高精密機械定位平台─子計畫二：系統機構及六自由度位置誤差量測(III)	范光照
國立臺灣大學	1998	高精密機械定位平台─高精密機械定位平台(III)－總計畫	范光照
臺大學術典藏	2000-01	高精密機械定位平台之研製	范光照;張所鈜;顏家鈺;鍾添東; 范光照; 張所鈜; 顏家鈺; 鍾添東
國立臺灣大學	2000-01	高精密機械定位平台之研製	范光照; 張所鈜; 顏家鈺; 鍾添東; Fan, K.C.; 張所鈜; 顏家鈺; 鍾添東

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