臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
中華大學	2010	PECVD Silicon Intrinsic Layer Deposition on Glass Substrate for Solar Cell Design	林君明; Lin, Jium-Ming
國立交通大學	2014-12-08T15:41:19Z	PECVD-Ti/TiNx barrier with multilayered amorphous structure and high thermal stability for copper metallization	Wu, WF; Ou, KL; Chou, CP; Hsu, JL
臺北醫學大學	2003	PECVD-Ti/TiNx barrier with multilayered amorphous structure and high thermal stability for copper metallization	Wu,Wen-Fa; Ou,Keng-Liang; Chou,Chang-Pin; Hsua,Jwo-Lun
國立成功大學	2013-07-29	PECVD多層介電薄膜熱循環應力分析模擬與實驗驗證	蔡印耕; Tsai, Yin-Keng
國立成功大學	2013-07-11	PECVD多層介電薄膜熱循環應力分析模擬與實驗驗證	蔡印耕; Tsai, Yin-Keng
淡江大學	2010	PECVD微波電漿源研究計畫	林諭男
國立交通大學	2014-12-13T10:44:03Z	PECVD設備應用光電膜性能提昇研究	蔡娟娟; C.C. Tsai
國立交通大學	2014-12-12T01:26:51Z	PECVD護層薄膜應力/形變對MOS起始電壓偏移之影響	鄭惇元; Cheng, Tun-Yuan; 吳耀銓; Wu, YewChung Sermon
修平科技大學	2022-06	PECVD鍍膜機台電漿狀態偵測監控裝置	陳宥諭; 劉韋鋐; 邱煜璋
國立交通大學	2014-12-12T02:21:00Z	PECVD電漿Arcing之改善研究	彭元宗; 吳宗信

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